使用引见
  光是具有特定频次(波长)的电磁辐射,具有能量。操纵光的能量,引诱具有化学活性的液体化学物质(光激发剂、树脂、单体)经由过程快速聚合交联,霎时实现固态质料的历程称为光固化手艺。与热固化办法比拟,光固化具有固化速度快、无需加热、较少利用溶剂、高效节能、固化过程可自动化操纵等长处,光固化被称为21世纪的绿色手艺。光固化质料已普遍应用于我们日常生活的各个方面,如涂料、油墨、印刷、光学透镜、微电子器件、光盘、光纤等范畴,并构成了全球120亿美圆的使用市场。
光刻手艺
    光刻手艺也是操纵光的能量,经由过程掌握光照的地区使具有化学活性的液体化学物质快速发生光化学反应,并经由过程实现选择性的腐化获得图形的手艺。为了实现选择性的腐化,需求利用溶解性、熔融性或亲合性在暴光后发作较着的变革的质料。这类质料称为光刻胶。光刻胶具有光化学敏感性,可操纵其停止光化学反应,经暴光、显影等历程,将所需求的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上,然后停止蚀刻等工艺加工。光刻胶是微制造范畴最为主要的质料,1959年被创造以来,就成为半导体产业最焦点的工艺质料。光刻胶在随后的开展中被普遍应用于光电信息产业的微细图形线路的加工建造,是微细加工手艺的关键性质料。
光刻胶的组分
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    光固化质料、光刻胶固然都是由光激发剂(或光敏剂)、树脂、单体(或活性稀释剂)三种次要化学品质料和其他助剂构成的,但光刻胶需求利用公用的化学品质料。光刻胶是成像质料,和光固化质料比拟,用处差别,利用的暴光光源和热能差别,反响机理不完全不异,关于质料的溶解性、耐蚀刻性、感光机能、耐热性等要求差别,各种光刻胶利用的光激发剂、树脂、单体等质料需求化学构造差别、机能各别的公用化学品。并且光刻胶用于加工建造十分精密的图形线路,对原材料的纯度、杂质、金属离子含量等有十分高的要求。光刻胶品种十分多,按照其化学反应机理和显影道理,可分负性胶和正性胶两类。基于光刻胶的化学构造,能够分为三品种型:光聚合型、光合成型、光交联型。光刻胶颠末几十年不竭的开展和进步,应用领域不竭扩大,衍生出十分多的品种,差别用处的光刻胶暴光光源、反响机理、制造工艺、成膜特性、加工图形线路的精度等要求机能差别,关于原材料的机能要求也不一样。因而每一类光刻胶利用的质料在化学构造、机能上都比力特别,要求差别品格品级的公用化学品。
强力的光刻胶公用化学品简朴引见
    光激发剂是一种能吸取热能(辐射能),经激起发生化学变化天生活性中间体,并进一步激发聚合的物资,是光刻胶的枢纽组分,对光刻胶的感光度、分辨率等起决定性感化。光激发剂因发生的活性中间体差别,可分为自由基型光激发剂和阳离子型光激发剂。光刻胶顶用到的自由基型光激发剂较多,要求光激发剂对暴光光源波长的吸收率高,和光刻胶树脂的相容性好,大概和颜料、染料的婚配性好等。
    光增感剂是激发助剂,是指能吸取热能将能量转移给光激发剂或自己不吸取热能但协同到场光化学反应提高激发服从的物资。因为暴光光源的变革,光刻胶需求用到光增感剂的配方较多。
    光产酸剂是指类似于阳离子光激发剂,但阳离子部门不含金属、磷等元素,在吸取热能后份子发作光解反响,发生强酸激发反响的物资,用于最尖端的化学增幅光刻胶。
    树脂是光刻胶中比例最大的组分,组成光刻胶的根本骨架,次要决议暴光后光刻胶的根本机能,包罗硬度、柔韧性、附着力、暴光前和暴光后对特定溶剂的溶解度发生变革、光学机能、耐老化性、耐蚀刻、热稳定性等。
光刻胶使用分类
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使用产物引见
 
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